Turbomoleküler Vakum Pompası

Turbo moleküler pompa düzeyleri çok üzerinde oluşur ve hareketli düzenlenmiş bıçakları ve stator. Biçim aşağı yönde çeşitli çıkış tarafına girmek çalışın ve hareketli kanatlar dan yüksek vakum gelen bıçaklar. Gaz molekülleri arasındaki gösterir ilişkinin yönünü dönen açısı ve. Ancak, açı ve kanatlarının dönme stator nedeni ile sahne molekülleri taşımak için doğru hızlı ve sona egzoz en arkadaki yolu geri Gaz stator. Akışı molekülleri egzoz geri vurmak göndererek, hareketli bıçak sonunda. bıçakları (geçit vardır açılı üzerinde engellemek için açılı olan ön sona kolaylaştırılması olduğu büyük egzoz arasındaki fark kadar akım ve) (molekülleri geçiş gaz ise üzerinde bıçakları, sonunda egzoz nereye oranı arasında üstü) bir akım o egzoz ve yönünün tersine. akışı moleküler alanında, hareketli bıçak ve stator pompa turbo moleküler gerçekleştirmek temel işlevleri.

Osaka Vakum kombinasyonu ve stator bıçak bıçak ekledi dişli groove için hareket. Rotor sürükleyin silindirik duvarların içinde stator oluk boyunca dişli molekülleri gaz, yan basınç geri teslim onlara. Yivli oluk işlevsellik için bize etkin aralığı geliştirmek turbo moleküler pompa (bileşik moleküler pompa akış moleküler içinde ek olarak) yorucu büyük yetenekli aralıklarını akış ortamında akış birimleri, özellikle. Bu uygulamaların geniş bir anda kullanılan Genişletilmiş pompalar için turbo moleküler dizi çalışma. ve kabiliyeti yüksek geri basınç altında çalışmasına yardımcı pompaları için seçimler büyümüştür.